1、送风洁净度
要保证送风洁净度，安装的气密性要好，液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上，负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态。
无尘车间工程由三种构造形式组成，比如开放式、套间式和隧道式。
开方式常用于工艺过程对各无尘区要求的洁净度等等差别不大的，海淀区净化车间，其特点是：灵活性好，便于调整和变更，设计简单，空气处理系统单一。反之，高运行费用，对大面积的单向流，其回风通道所占面积/空间大，净化车间，防火分隔受限止，安全性差。
套间式各洁净区按工艺的工序及洁净度要求进行分隔及连通，并进行各区间的压差控制，多用于制药工业及手术部，亦常把此归入开放式内。
隧道式是以“线”保护替代“面”保护的典型代表，它有二种基本形式，一是把各有关工艺设备的关键加工部位，净化车间设计，另一种形式是把各工艺设备的关键加工部位置于非单向流洁净隧道的罩流层下，其它都同前。
3、风机过滤单元
风机过滤单元（FFU）是净化工程空气净化系统的关键模块。其工作原理为：风机由FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气以0.45m/s的平均风速经由出风面均匀送出。
4、层流罩
层流罩主要由箱体、风机、高效空气过滤器、初效过滤器、多孔板、控制器组成，外壳冷板喷塑或不锈钢板。层流罩的主要作用是将空气以一定的速度通过高效过滤器，形成均流层，促使洁净空气呈垂直单向流，从而保证工作区内达到工艺要求的高洁净度。
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